如果你不了解真空泵的分類(lèi)，那你就點(diǎn)進(jìn)來(lái)看看

　　液環(huán)泵

　　雖然液環(huán)泵屬于粗真空泵，但在中國的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫藥等領(lǐng)域仍然有著(zhù)很大的市場(chǎng)。液環(huán)泵工作原理在國外，液環(huán)泵的銷(xiāo)售額占全部真空泵市場(chǎng)的14%，僅次于干泵，由于液環(huán)泵大部分是鑄件，加工要求也不高，屬勞動(dòng)密集型產(chǎn)品，所以國產(chǎn)液環(huán)泵在價(jià)格上有競爭優(yōu)勢，關(guān)鍵是要改進(jìn)設計，縮小體積，減輕重量，提高效率，降低能耗。

　　滑閥泵

　　由于滑閥泵比較耐用、可靠，國內外各種真空爐、鍍膜機以及干燥、浸漬等設備都是用滑閥泵作為前級泵，滑閥泵工作原理但是滑閥泵鑄件重，加工工作量較大，所以國外各真空廠(chǎng)都在中國尋找合作伙伴。為了使國產(chǎn)滑閥泵能夠進(jìn)入市場(chǎng)，必須進(jìn)一步降低泵的振動(dòng)噪聲，杜絕噴油和漏油，提高滑閥泵長(cháng)期運行的可靠性。

　　羅茨泵

　　從國外羅茨泵生產(chǎn)情況來(lái)看，國外幾家大公司，如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC，他們各家羅茨泵的銷(xiāo)售額羅茨泵銷(xiāo)售額的比例都沒(méi)超過(guò)5%，這5家總計才20%，羅茨泵產(chǎn)量不大，但國外羅茨泵羅茨泵工作原理的價(jià)格遠比國產(chǎn)泵要高得多。國內外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統，為了縮短抽氣時(shí)間、提高生產(chǎn)效率都配有羅茨泵，所以國產(chǎn)羅茨泵一定要在占領(lǐng)國內市場(chǎng)基礎上設法進(jìn)入市場(chǎng)，這樣就必須進(jìn)一步降低國產(chǎn)羅茨泵的振動(dòng)噪聲，*解決軸封漏油問(wèn)題，改進(jìn)泵的外觀(guān)質(zhì)量，提高泵內的光潔度和清潔度。另外，還要考慮到有些國家和地區的電源頻率為60Hz，更要確保羅茨泵在提高轉速的情況下長(cháng)期運行的可靠性。

　　國內氣冷式直排大氣羅茨泵進(jìn)展很快，技術(shù)上已經(jīng)成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器，其中一部分被冷卻的氣體通過(guò)管道返回泵腔以冷卻轉子，從而使壓縮熱得到平衡，所以這種泵可以直排大氣。為了滿(mǎn)足不同極限真空度的要求，這種泵可以串聯(lián)使用，一般前面加一臺氣冷式直排大氣羅茨泵，所達到的極限真空要比前級泵高一個(gè)數量級。這種泵由于在泵腔內沒(méi)有工作介質(zhì)，實(shí)際上也是屬于干泵。這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經(jīng)在石油、化工、塑料、農藥、汽輪機轉子動(dòng)平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長(cháng)期運行的考驗，所以應該在國內大力推廣和應用。

　　直聯(lián)旋片泵

　　隨著(zhù)真空技術(shù)在各個(gè)應用領(lǐng)域的不斷擴大，直聯(lián)旋片泵的需求量越來(lái)越大。由于這種泵數量很多，加工裝配工作量很大，價(jià)格又很低，所以有的國外真空廠(chǎng)商在中國建立專(zhuān)業(yè)廠(chǎng)。國產(chǎn)中小型直聯(lián)旋片泵在技術(shù)上已經(jīng)過(guò)關(guān)，價(jià)格又遠比國外的泵便宜，所以國產(chǎn)泵仍然有競爭優(yōu)勢，關(guān)鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能質(zhì)量問(wèn)題，確保直聯(lián)泵在高速、高溫下性能穩定和運行可靠，同時(shí)還要進(jìn)一步提高國產(chǎn)直聯(lián)旋片泵抽除水蒸氣的能力。

　　分子泵

　　分子泵在國外半導體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(cháng)。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，稱(chēng)之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著(zhù)中國半導體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，以滿(mǎn)足不同場(chǎng)合的需要。